제품소개 > TEST Equipment > Probe CardParametric Probe Card
Massive-Pin Probe Card
- Top-engineering E4800 장비에 사용 가능
- 출력 핀 수 : 208핀
- 기본 구성 DUT 개수 : 1~8, 협의에 따라 변경 가능
- Vertical Probe
Dual-Core Probe Card
- 고객사 테스터에 커스터마이징 가능
- 출력 핀 수 : 44핀 / 25핀, 핀 수 변경 가능
- 기본 구성 DUT 개수 : 2
- Cantilever / MEMS
Dual-Core 구동부
- Handle, Up/Down 기구, Motor
- 한쪽 Core 는 고정, 다른쪽 코어는 상하 이동
- 컨텍 유무 센서 적용
MEMS Probe Card
| Parameters | Values |
|---|---|
| Number of probes | 1 ~ 48 |
| Contact force | 2.0 g/mils (±10%) |
| Tip Diameter | 10 um |
| Max Current | Up to 0.45 A |
| Temperature Range | -55 to +150℃ |
| Minimum Pitch in Line | 60 μm |
| Minimum Pitch in Array | 170 μm |
| Probe Position Alignment Accuracy | ±5 μm |
| Planarity | ±5 μm |
| Typical Overdrive | 80 um |
| Typical DC Contact Resistance ( probe ) | 0.5 to 1 Ohm |
| Maximum DC Contact Resistance ( tip to test equipment ) | 2 Ohms (±1) |
Cantilever Probe Card
| Parameters | Values |
|---|---|
| Number of probes | 1 ~ 48 |
| Contact force | 1.3 g/mils (±10%) |
| Tip Diameter | 13 um |
| Max Current | Up to 0.2 A |
| Temperature Range | -55 to +200℃ |
| Minimum Pitch in Line | 30 μm |
| Minimum Pitch in 2-Rows | 40 μm |
| Probe Position Alignment Accuracy | ±5 μm |
| Planarity | ±5 μm |
| Typical Overdrive | 75 um |
| Typical DC Contact Resistance ( probe ) | 0.5 to 1 Ohm |
| Maximum DC Contact Resistance ( tip to test equipment ) | 2 Ohms (±1) |
